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【仕様】 移動方向:XY軸2方向 移動量(mm):XY軸±25 ステージ面(mm):155X155 使用モータ:PK523HPA(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) 分解能(mm):0.002 送りねじ仕様:ボールねじ 送りねじリード(mm):1 移動ガイド:V溝とクロスローラ 移動精度(mm):真直度(水平・垂直)0.008 位置決め精度(1/10ストローク)(mm):X軸0.005、Y軸0.005 位置決め精度(フルストローク):X軸0.02、Y軸0.01 繰り返し精度(
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